欧美高清videossexo,亚洲熟女av中文字幕男人总站,韩国三级日本三级人与波,色婷婷亚洲精品天天综合影院

歡迎來到岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司網(wǎng)站!
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
咨詢熱線

4008529632

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  EVG鍵合機(jī)  >  晶圓鍵合機(jī)  >  EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)

EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)

簡要描述:EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng) 應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級襯底鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1948

詳細(xì)介紹

EVG810 LT 低溫等離子活化系統(tǒng)應(yīng)用:用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和高級襯底鍵合的低溫等離子體活化系統(tǒng)

一、簡介

       EVG810 LT (LowTemp™)低溫等離子活化系統(tǒng)是一個獨(dú)立單腔室系統(tǒng),具有手動操作功能。 處理室允許非原位處理(晶片一個接一個地激 活并且鍵合在等離子體活化室外部)。

二、特征

      用于低溫鍵合的表面等離子體活化(熔合/分子和中間層鍵合)

      任何晶圓鍵合機(jī)制的快動力學(xué)

      無需濕法工藝

      低溫退火時的高鍵合強(qiáng)度(高400°C)

      適用于SOI,MEMS,化合物半導(dǎo)體和先進(jìn)封裝

      高度的材料兼容性(包括CMOS)

三、參數(shù)

       1.晶圓尺寸:50-200mm,100-300mm

       2.低溫等離子活化腔:

        工藝氣體:2種標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體(N2和O2)

        通用大流量控制器:自校準(zhǔn)(高達(dá)20.000 sccm)

        真空系統(tǒng):0.09 mbar

        打開/關(guān)閉腔室:自動化

        裝載/卸載腔室:手動(晶圓/基板放置在裝載銷上)

       3.備選功能:

        用于不同的晶圓尺寸的夾頭

        金屬離子激 活

        帶有氣體混合的附加工藝氣體

        帶渦輪泵的高真空系統(tǒng):0.009 mbar的基礎(chǔ)氣壓

       4.符合LowTemp™等離子活化鍵合的材料系統(tǒng)

        Si:Si / Si,Si / Si(熱氧化,Si(熱氧化)/ Si(熱氧化)

        TEOS / TEOS(熱氧化)

        絕緣體鍺(GeOI)的Si / Ge

        硅/Si3N4

        玻璃(無堿浮法):硅/玻璃,玻璃/玻璃

        化合物半導(dǎo)體:GaAs,GaP,InP

        聚合物:PMMA,環(huán)烯烴聚合物

        用戶可以針對上述內(nèi)容和其他材料使用“佳已知方法”配方(可根據(jù)要求提供完整列表)

 

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
成熟丰满熟妇老狼xxxxx| 国产下药迷倒白嫩美女| 色戒在线免费观看| 国产无套内谢普通话对白| 亚洲国产精品久久久久婷婷老年| 亚洲av无码一区二区三区| 亚洲中文字幕在线观看| 免费在线黄色电影| 国产最猛性xxxx69交| 色欲av无码一区二区三区| 性生交大片免费看| 欧美人妻精品一区二区三区| 韩国三级hd中文字幕| 国产a片| 小受夹道具羞耻h调教play| 不断作死后我成了白月光| 公主车上荫蒂添的好舒服| 国产一区二区草草影院| 乳欲人妻办公室奶水在线电影国产| 久久亚洲精品中文字幕无男同| 国产好大对白露脸高潮| 最美情侣高清免费视频观看下载| 扒开粉嫩小泬白浆20p| 国产chinasex对白videos麻豆| 性色av浪潮av色欲av一区| 东北50岁熟妇露脸在线| 成人av视频免费观看| 精品人妻无码一区二区三区淑枝| 久久婷婷五月国产色综合| 中文字幕丰满乱子伦无码专区| 歪歪漫画网免费版在线观看| a片毛片免费看| 亚洲精品粉嫩小泬18p| 一女被二男吃奶a片免费观看| 欧美一区二区三区啪啪| 国产精品毛片无码| 久久午夜夜伦鲁鲁片无码免费| 黑人大荫蒂bbwbbb| 中文字幕av| 人妻丰满熟妇av无码区不卡色欲| 国产大屁股喷水视频在线观看|