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直接鍵合設備在日常使用中有著眾多特性

更新時間:2022-06-13  |  點擊率:1166
  直接鍵合設備是一種自動化的單腔室生產(chǎn)鍵合機,設計用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級封裝,3D互連和MEMS應用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。它是基于模塊化設計,為我們未來的晶圓鍵合工藝從研發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的全集成生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)過渡提供了可靠的解決方案。
 

 

  應用:
  薄晶圓臨時鍵合解鍵合,將已經(jīng)鍵合的材料從載板上剝離。應用于TSV,儲存器,CMOS,功率器件等的加工過程。
 
  產(chǎn)品特性:
  1、高溫度、高壓力、高真空選項,滿足各種鍵合工藝參數(shù);
  2、精度溫度控制;
  3、精度壓力控制;
  4、適用于超厚晶圓;
  5、壓盤自調(diào)節(jié)設計,避免損傷晶圓、提高良品率;
  6、多路特氣接口,支持更多工藝;
  7、適用于非常薄的易碎晶圓(<40 um)和柔性塑料材料。
 
  主要功能:
  直接鍵合設備是將含焊接頭裝載在一個可以前后,左右,上下,三軸運動的機器人機臺上,按照預先編輯程序設定的動作進行運動,對需要焊接的元件進行焊接。可實現(xiàn)手工焊接和其他焊接手段難以完成的功能,特別適合對焊接空間小,焊錫量控制要求高,焊接品質(zhì)要求高的場合。主要應用于汽車電子,數(shù)字控制,移動通信終端,軍工等的電路板的焊接,屬軟釬焊類的焊接設備。
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